- 产品服务 - 电容薄膜真空计 - KY-70A-K2
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KY-70A-K2
KY-70A-K2
产品描述

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电容薄膜规是一种膜片受到压力后产生形变的引起电容变化并将其转化为电信号的传感器，信号的强弱由受到的压力大小决定。

KY系列是基于电容式测量单元开发的一款数字智能绝对压力变送器。测量单元由纯度大于99.9%的陶瓷膜片构成，具有不区分气体种类，高精度、无迟滞等优点。该系列产品全程采用最先进的数字处理技术，大大提高了传感器测量精度，和智能化程度，可以直接以数字信号输出压力值、温度值，适应过程控制的数字化趋势。

数字电路还可以提供传感器噪声抑制功能并提高了EMC兼容性、长期稳定性和温度补偿精度。同时考虑到客户传统电容薄膜规的使用习惯，本产品保留了传统模拟信号输出功能，可以无缝替换所有传统型号电容薄膜规。

产品应用

■ 高要求的应用条件下，精确而快速的压强测量
■ 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD半导体制造设备
■ 半导体，光学，航空航天和化学制造
■ 冷冻，干燥制造设备


产品特点

■ 测量全程数字化，量程在范围内任意迁移
■ 数字通讯，避免二次仪表误差，简化控制设备
■ 强大的抗过载能力
■ 快速的响应时间
■ 超过对外发布指标规格
■ 高精度，高稳定性
■ 超宽补偿温度范围:-20~+80℃
■ 模拟信号任意迁移
■ 量程范围:10%-100%
■ 替代传统模拟信号电容薄膜规
■ 快速开机预热时间5s
■ 压力误差:2.0%。，电压误差:1%。



技术参数

性能参数

物理参数

电气参数（电压）

精度

0.2% F.S

壳体

316L

激励/输出

0-10V，RS485

响应时间

≤100ms

尺寸

见尺寸图

电流消耗

＜10mA

耐压

40bar

电气链接

Dsub9

符合CE标准

符合

分辨率

0.01% F.S

压力接头

见尺寸图

符合RoSh

符合

长期稳定性

一年内误差±0.5%

材料

AL2O3

热效应

环境参数

温度补偿

是

温度

-20~60℃

零点漂移

±0.03%F.S/year

工作温度

-20~60℃

量程漂移

±0.03%F.S/year

储存温度

-40~135℃

尺寸图/接线图

接线图




尺寸图



订购信息

名称 型号 / 输出 输出信号 量程编码 量程范围 接口编码 接口类型 密封圈编码 材质
KY 70A 0~5/10VDC，RS485 4P 400 Pa 4F 4 Female VCR 0 Viton（氟橡胶）
70B 4~20mA 2 2 KPa 4M 4 Male VCR 1 FFKM（全氟醚）
7VS 2×Relay，RS485 5 5 KPa 8F 8 Female VCR 2 Customized（定制）
10 10 KPa 8M 8 Male VCR
20 20 KPa C1 Conflat Flange 16
40 40 KPa K1 NW16-KF
1T 1 Torr K2 NW25-KF
5T 5 Torr 2T 1/2" Tube
KT 10 Torr 4T 1/4" Tube
TT 20 Torr 8N 1/8" NPT 内螺纹
HT 100 Torr
QT 1000 Torr
1H 100 KPa
2H 200 KPa
4H 400 KPa
1M 1 MPa
6M 600~1100 mbar
8M 800~1100 mbar
CS Customized（定制）

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